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影響勻膠旋涂儀性能的關(guān)鍵參數(shù)有哪些?

更新時間:2022-03-09       點擊次數(shù):1536
  勻膠旋涂儀一般包括托盤安裝于腔室內(nèi)部,用于吸附基片;噴嘴,延伸入腔室內(nèi)部,用于將去離子水、有機溶劑或光刻膠噴射到基片上;微波發(fā)生裝置,安裝于腔室側(cè)壁,用于產(chǎn)生微波對基片提供熱量;溫控系統(tǒng),安裝于腔室上壁,用于控制微波發(fā)生裝置以設(shè)定微波加熱的功率、頻率、時間。依照微波勻膠設(shè)備及其方法,采用微波加熱脫水,快速蒸發(fā)基片內(nèi)水分,降低涂膠工藝的時間成本、減小環(huán)境污染。此外微波干燥施加的熱量是從基片內(nèi)部逐漸擴散到基片外部,從而減小干燥應(yīng)力,使薄膜涂層既具有低的孔隙度又有較好的強度,避免干凝膠的開裂。
 

勻膠旋涂儀

 

  影響勻膠旋涂儀性能的關(guān)鍵參數(shù):
  1、旋轉(zhuǎn)速度:
  轉(zhuǎn)速的高低和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。
  2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造與清洗:
  無憂真空泵壓力標(biāo)定要準(zhǔn)確,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基底吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。勻膠機的清洗問題,在使用完勻膠機后,在泵打開的前提下,要用有機溶液如:丙酮,酒精等清洗氣孔。
  3、片托材質(zhì)的選擇:
  對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,片托材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機片托采用的是鋁合金或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,鋁合金對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
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